完全符合国标标准 YS/T 13-2007 高纯四氯化锗的检测方法。

    本系统组成：本系统包含德国进口红外光谱仪主机 1 套，专用的自动四氯化硅分析系统一套，适合不同浓度的密闭气体池 4套，专用的自动采样系统 1 套（实现在线和离线操作），连接管路1 套，维护工具包 1 个，本系统可以达到在线和离线实时检测。

    该系统已经在国内多家生产四氯化硅多家企业成功应用，测试速度快，密闭性无泄漏，测试精度高等优点得到用户一致认可。填补国内行业空白。